进口氦质谱检漏仪发生故障如何处理,如何维护保养?-杭州景程仪器有限公司

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进口氦质谱检漏仪发生故障如何处理,如何维护保养?

更新时间：2020-12-27

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　　进口氦质谱检漏仪应用广泛，在检漏作业中，根据不同产物对密封的要求多采用负压法，正压法和压氦法叁种检漏方法。仪器具备检测灵敏度高、反应速度快、定位定量准确等优点而被广泛应用，但是在长时间的使用过程中常常会出现一些故障现象，从而影响设备的正常使用。那么我们怎么解决这写故障呢？

　　一、进口氦质谱检漏仪的故障和处理

　　1、内部的泄漏

　　当检漏仪内部存在泄漏时，会对检漏工作造成较大干扰，容易造成误检、误判。各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的橡胶圈密封。采用喷氦法寻找漏点，更换密封件。

　　2、本底信号不稳定

　　①本底信号过高有可能是环境本底被污染，注意检查室内是否有氦气源在泄漏。将室内的门窗打开通风，降低环境本底。

　　②本底信号过高也有可能是因为质谱室被污染。检漏仪若经常检测含有油污、粉尘等杂质较多的被检件时，质谱室很容易被污染，需返厂进行清洗，本底信号不稳定，检查电源电压是否稳定，检漏仪应有可靠的接地。

　　③本底信号不稳定，检查泵油是否浑浊，被污染。

　　二、进口氦质谱检漏仪的保养注意事项

　　1、如果仪器不是每天使用，建议每周开机检查一下，使仪器高真空系统保持真空，缩短仪器使用时的开机时间

　　2、拆卸仪器部件（如离子源）后，安装时要避免安装部位出现泄漏，可用仪器进行自身检漏。

　　3、适时对仪器可能出现的泄漏处（如放气阀等）进行自身检漏，发现漏点后要及时取下清洗或固紧，以免在检漏时干扰检漏工作。

　　4、检漏仪维修每隔一段时间保养油泵。（散热口灰尘处理，和泵油的检查更换）

　　5、禁止任何外来物掉在或洒在检漏仪上，尤其是进气口中，由于氦检漏仪为高精度仪器，其存放和使用环境要保持干净、卫生。只有经过培训或有资格的设备维护工程师，才能使用此仪器。

　　6、使用时，注意观察进口氦质谱检漏仪的运行情况，一旦发现问题（如较大振动、高噪音等），仪器在运行过程中不能移动。涡轮分子泵处于高速运转中，若搬动检漏仪，容易使分子泵内的叶片与转子的筒体相碰撞。马上切断电源，并排除故障。